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產(chǎn)品型號: NC-10/NC-20
所屬分類:其他設(shè)備
產(chǎn)品時間:2024-09-07
簡要描述:日本napson非接觸式渦流法薄層電阻測量儀NC-10/NC-20使用個人計算機(jī)節(jié)省空間,易于操作和數(shù)據(jù)處理由于它是一種非接觸式渦流方法,因此可以進(jìn)行測量而不會損壞它。由于探頭是可拆卸和可更換的,因此可以方便地用每個量程的探頭進(jìn)行更換。(*對第二個和后續(xù)電阻探頭的可選支持)中心1點測量厚度/溫度補償功能(硅晶片)
日本napson非接觸式渦流法薄層電阻測量儀NC-10/NC-20
測量目標(biāo)
半導(dǎo)體/太陽能電池相關(guān)材料(硅,多晶硅,SiC等)
新材料/功能材料相關(guān)(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬,ITO等)
硅基外延,離子與
半導(dǎo)體相關(guān)的進(jìn)樣樣品化合物(GaAs Epi,GaN Epi,InP,Ga等)
其他(*請與我們聯(lián)系)
測量尺寸
3-8英寸?156 x 156毫米
(可選; 2英寸或12英寸?210 x 210毫米)
日本napson非接觸式渦流法薄層電阻測量儀NC-10/NC-20
測量范圍
[電阻] 1m至200Ω? cm
(*所有探頭類型的總量程/厚度500um)
[ 抗剪強(qiáng)度] 10m至3kΩ / sq
(*所有探頭類型的總量程)
*有關(guān)每種探頭類型的測量范圍,請參閱以下內(nèi)容。
(1)低:0.01至0.5Ω/□(0.001至0.05Ω-cm)
(2)中:0.5至10Ω/□(0.05至0.5Ω-cm)
(3 ))高:10至1000Ω/□(0.5至60Ω-??cm)
(4)S-高:1000至3000Ω/□(60至200Ω-cm)