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日本photoscience監(jiān)測(cè)成膜過(guò)程中樣品的反射率技術(shù)解析

發(fā)布時(shí)間:2022-03-30 點(diǎn)擊量:1380

日本photoscience監(jiān)測(cè)成膜過(guò)程中樣品的反射率技術(shù)解析

該設(shè)備連接在 MBE 成膜設(shè)備上,用于監(jiān)測(cè)成膜過(guò)程中樣品的反射率??梢詫雽?dǎo)體激光應(yīng)用于樣品,反射光可以通過(guò)光電二極管檢測(cè),反射率可以在個(gè)人計(jì)算機(jī)中捕獲,并且可以實(shí)時(shí)顯示反射率的變化。另外,可以從反射率曲線評(píng)價(jià)樣品的膜厚。

2. 配置
反射率監(jiān)視器由以下單元組成。
1) 半導(dǎo)體激光器和引入系統(tǒng)
2) 參考光學(xué)監(jiān)控光學(xué)系統(tǒng)
3) 反射光聚光光學(xué)系統(tǒng)
4) 檢測(cè)器系統(tǒng)
5) 信號(hào)捕獲控制和膜厚分析軟件(筆記本電腦)
6) 外殼

3. 各部分的功能和規(guī)格
反射率監(jiān)測(cè)裝置具有以下功能和規(guī)格。

1)作為激光光源,使用輸出數(shù)mW、波長(zhǎng)600~700nm的半導(dǎo)體激光,照射半導(dǎo)體激光和導(dǎo)入系統(tǒng)
樣品。激光的溫度控制在 25 攝氏度,以最大限度地減少波長(zhǎng)和輸出強(qiáng)度的波動(dòng)。激光束由光學(xué)系統(tǒng)制成平行光通量照射樣品。

2) 參考光監(jiān)測(cè) 光學(xué)系統(tǒng)
使用鏡子將參考光引入檢測(cè)系統(tǒng),以確定樣品的反射率。該反射鏡在測(cè)量期間位于激光路徑之外,并在確定參考光強(qiáng)度時(shí)被引入路徑中。

3) 反射光聚光光學(xué)系統(tǒng)
將來(lái)自樣品的反射光聚光并聚光到檢測(cè)系統(tǒng)中。

4) 檢測(cè)系統(tǒng)
來(lái)自樣品的反射光和參考光強(qiáng)度由光電二極管接收和檢測(cè)。

5) 信號(hào)采集控制和膜厚分析軟件(筆記本電腦)
檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)到的信號(hào)通過(guò)USB線在筆記本電腦中放大捕捉。將捕獲的信號(hào)與參考光進(jìn)行比較,并將其相對(duì)于時(shí)間軸繪制為反射率。實(shí)時(shí)顯示反射率曲線。可以從獲得的反射率曲線評(píng)估當(dāng)前的膜壓力。

6) 外殼
本裝置安裝在MBE成膜裝置的下法蘭上,裝卸方便。烘烤 MBE 主機(jī)時(shí),無(wú)需拆下 MBE 主機(jī)法蘭即可從外部拆下此監(jiān)控裝置。

反射率監(jiān)測(cè)裝置光學(xué)系統(tǒng)示意圖




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